Silicon-based Microfabrication Programmable Stage Plug-and-Play Agilent Imaging FE-SEM MCP

安捷倫推出小型掃描式電子顯微鏡

2010-08-23
安捷倫(Agilent)推出Agilent 8500場發射型掃描式電子顯微鏡(FE-SEM),為一個小型系統,主要提供研究人員在實驗室進行低電壓、高效能成像(Imaging)所需的場發射型掃描式電子顯微鏡。  
安捷倫(Agilent)推出Agilent 8500場發射型掃描式電子顯微鏡(FE-SEM),為一個小型系統,主要提供研究人員在實驗室進行低電壓、高效能成像(Imaging)所需的場發射型掃描式電子顯微鏡。  

Agilent 8500經最佳化後可提供低電壓成像能力,超高的表面對比,以及通常只有在大型場發射型顯微鏡才有的解析度。Agilent 8500FE-SEM大小與雷射印表機差不多,並且提供方便的即插即用(Plug-and-Play)效能,不需專屬的設備,只要一個交流電源插座。科學等級系統提供多種成像技術,增加材料表面對比。此外,透過Agilent 8500可觀察各種奈米結構材料的特性,包括任何基板(甚至玻璃)上的聚合物、薄膜、生物材料、以及其他能量敏感度高的樣本。  

Agilent 8500FE-SEM在非導電樣本的處理可不需鍍膜,因鍍膜可能遮蔽奈米特性;也不需藉助加壓操作,可能降低解析度。連續改變的成像電壓可當成一個操作參數,在500~2000伏特(V)範圍內調整,而非當作一個設定選項。此外,該系統使用四段式微通道板(MCP)偵測器,沿兩個正交方向提供拓樸成像,以增加表面細節。該技術已被證實可清楚解析結晶物質(例如多形體結構的6H-SiC)表面上的次奈米原子台階。  

矽基微製造(Silicon-based Microfabrication)技術,讓安捷倫得以設計和製造小型靜電電子束,並將它與場發射型電子源結合,進而構成Agilent 8500。Schottky場發射型電子源可提供高亮度及一致、持久的效能。該系統的輔助和反向散射電子偵測功能,可為每個樣本提供豐富的資料。  

Agilent 8500的靜電鏡頭設計提供可重複效能,不像傳統SEM電磁鏡頭因為磁滯的關係,必須不斷縮回。XYZ可程控階段(Programmable Stage)可讓研究人員立即儲存及回到任何操作設定,使Agilent 8500成為多使用者環境的選擇。  

安捷倫網址:www.agilent.com

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