為協助客戶執行專利迴避、完整提出該層電路圖找異常點(Defect),宜特日前推出獨家晶片去層技術,將樣品如魔術般放大,直接在晶片封裝(Package)還存在的情況下進行去層工程,不僅可以大幅提升工程上的良率,完整提出電路圖,還可衍生應用在合金PAD、精密IC及其他無法取Die卻需要去層的晶片樣品上。
宜特觀察發現,隨著摩爾定律,製程演進至7奈米、5奈米甚至達3奈米,晶片裏頭的Die,幾乎是接近螞蟻眼睛大小,一般人眼無法辨識。因此,希望藉由一般的晶片層次去除(Delayer)來完整提取Die裏頭每一層的電路,難度是非常高,硬是下去進行一般層次去除技術的後果,不只是良率偏低,更可能發生連Die都去除到不見遺失的窘境。
宜特說明,以往一般的取Die後去層的技術,會因為樣品過小等因素,導致Die不見或Crack而無法進行製程分析;當無法去層到金屬層(Metal)M1時,記憶體(Memory Block)僅能以推測得知,電路模組分析圖亦無法完整繪製。
宜特的去層技術共分為三步驟。第一步驟為利用物理手法去除膠體,首先,在晶片封裝還存在的情況下,以物理方式去除晶片Die正面多餘的膠體。相較以往須先去除Package僅在裸Die上去層,此法可在較大的面積/體積上施作,可大幅減少後續去層時Die遺失的機率,並保持Die面平整度。
第二步驟則是機台去層,藉由離子蝕刻機,將IC護層(Passivation)與隔絕層(Oxide),用適當參數以離子蝕刻方式,將不需要的部份移除,藉由宜特獨家的控制參數方式,使得下層金屬層(Metal)不受傷;第三步驟為藥液去層,IC護層被去除後,再以藥水蝕刻該層需去除的金屬層,即可完整提出電路圖。