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2014-01-27
微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS)技術係指在矽晶圓上將機械結構與電子電路設計整合的新製程技術，可用來製造許多低成本的感測器和致動器。隨著MEMS技術發展，MEMS感測器的尺寸越來越小，感測器的敏感度(Sensitivity)、訊噪比(Signal to Noise Ratio)也隨之改善。
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