並聯參數測試 電荷量測 Vt量測 新品發布

是德推出第三代參數測試解決方案

2018-01-31
是德科技(Keysight)日前宣布推出第三代的Keysight P9000系列大規模並聯參數測設系統。該系統可加速推動新技術的發展,並且降低先進半導體邏輯和記憶體IC的研發和製造成本。舉例而言,新型元件結構和更高的效能,讓每個先進技術節點(小於或等於20 nm)所需的參數測試資料急遽增加。
是德科技(Keysight)日前宣布推出第三代的Keysight P9000系列大規模並聯參數測設系統。該系統可加速推動新技術的發展,並且降低先進半導體邏輯和記憶體IC的研發和製造成本。舉例而言,新型元件結構和更高的效能,讓每個先進技術節點(小於或等於20 nm)所需的參數測試資料急遽增加。

台灣是德科技總經理張志銘表示,目前已有數百台Keysight P9000被全球半導體公司用於研發和量產,例如先進的邏輯晶圓廠和記憶體製造商。該公司將持續增強P9000,以降低客戶的上市時間和測試成本,其提供最快的並聯參數測試解決方案,具有100接腳的TRUE參數接腳模組,即使在傳統測試系統的測試結構中也能快速運作。

Keysight P9000可使用專用的接腳測試單元模組,在矽晶圓上進行100-pin多元件並聯測試。該模組具有參數測試所需的所有基本量測功能,例如電壓、電流、電容、脈衝和頻率。此外,直接電荷量測(DCM)技術使得高速100-pin並聯電容量測變得可能。

第二代P9000包含是德科技研發的快速Vt量測技術,可提供單次臨界電壓(Vt)量測,除了100-pin並聯量測外,DCM和高速Vt量測技術所提供的更快速單一參數量測,進一步增進了測試速度。隨著第三代的問世,加上Keysight P9015A接腳參數測試模組的輔助,該測試儀進一步縮短了電容量測時間,並解決因多層互連和新元件架構導致電容測試量增加的問題。

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