新一代向量網路分析儀(VNA)將突破高頻製程、3D IC晶圓測試桎梏。安立知(Anritsu)日前發布新款向量網路分析儀，並導入輕巧的毫米波(mm-wave)升頻模組，進而支援寬達70k～110GHz頻率範圍及先進量測功能，協助晶圓廠針對矽鍺(SiGe)及三五族等高頻半導體材料製程，以及3D IC晶圓進行精密且容易定位的測試，確保晶片品質無虞。
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| 安立知通用產品事業部產品行銷經理Bob Buxton提到，其他儀器廠已利用PXI方案開發成本較低的VNA，但支援頻率僅8.3GHz，難以瓜分安立知在高頻VNA的市占。 |
安立知通用產品事業部產品行銷經理Bob Buxton表示，以往晶圓廠量測110GHz以上的射頻(RF)/微波/毫米波等高頻製程時，必須導入又重、體積又大的升頻模組，以及波導管測試轉接頭，不僅對晶圓測試精確度有所影響，成本也居高不下。因此，安立知遂利用在高頻測試領域累積的知識與技術能量，開發出更輕、體積更小的升頻模組，並用以打造最高支援125GHz的向量網路分析儀，使晶圓測試品質更上層樓。
Buxton強調，安立知新款向量網路分析儀MS4640B將頻率範圍提升至70k～110GHz的規格，並新增脈衝檢視(PulseView)及差動檢視(DifferentialView)兩項功能，前者可提供S參數的脈衝曲線、脈衝點和脈衝對脈衝量測，後者則可執行真實訊號激發模式的S參數量測。由於其頻率範圍、精密度大增，且提供微型化升頻模組，因此不僅能滿足高頻製程及愈來愈夯的3D IC晶圓測試及特性描述需求，還能提升雷達及高速串列設計量測精確度與動態範圍。
事實上，MS4640B搭配獨立的測量閘，可提供高達2.5奈秒(ns)解析度及100dB動態範圍，並協助使用者掌握脈衝升/後緣(Rising/Trailing Edges)的效能擾動，讓相關產品的量測與設計更到位。特別是在脈衝模式下，該款向量網路分析儀擁有業界最佳500毫秒擷取時間，使用者可於長脈衝重複間隔條件下測量，或於延長的脈衝數執行脈衝對脈衝測量。
Buxton透露，MS4640B除正逐漸搶進晶圓測試領域外，目前也開始在其他應用市場嶄露頭角，包括航太、國防設備，以及汽車雷達射頻前端設計的低雜訊放大器(LNA)、混頻器(Mixer)檢測等，同時也有零組件製造商開始用於元件特性描述及設計。因應市場對高頻元件量測的強勁需求，未來安立知還將持續改良毫米波升頻模組，最高可望支援達750GHz的超高頻率範圍，更進一步拓展應用版圖。