愛德萬測試(Advantest)為因應1X奈米製程光罩缺陷檢測需求，推出全新多功能整合型量測掃描式電子顯微鏡--E3640。
愛德萬測試(Advantest)為因應1X奈米製程光罩缺陷檢測需求，推出全新多功能整合型量測掃描式電子顯微鏡--E3640。
E3640為愛德萬測試廣受業界採用的E3600系列全新電子顯微鏡產品，其精準度和產出速度已獲得大幅精進，並擁有業界最佳圖樣缺陷檢測能力，可支援業界即將面臨的1X奈米製程。
隨著行動裝置終端市場需求日漸高漲，半導體產業即將在短期內進入1X奈米製程量產階段，此重大轉變將帶動業界對於超小尺寸元件高穩定性、高精準度圖樣缺陷檢測能力的需求。E3640的推出正是回應此需求，這套系統可提供領先業界的精密量測能力，且功能更先進更強大，有助於提升光罩研發和產出效率。
愛德萬測試網址：www.advantest.com