Epson Toyocom開發石英式大氣壓力感應器

2008-09-25
Epson Toyocom已開發出高性能的小型石英式大氣壓力感應器,新感應器採用QMEMS技術支援特殊原創的壓力感測結構,體積僅12.5cc,重量僅15克,能精確至10 Pa或約1/10,000 bar之內,並擁有0.1Pa的解析度。此項全新開發產品,預計於2009會計年度完成商品化。Epson Toyocom將於9月30日於日本幕張舉辦的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公開此一技術,並隨後在10月7日開幕的台北國際電子展(TAITRONICS 2008)於台灣愛普生攤位(K006)展出。  
Epson Toyocom已開發出高性能的小型石英式大氣壓力感應器,新感應器採用QMEMS技術支援特殊原創的壓力感測結構,體積僅12.5cc,重量僅15克,能精確至10 Pa或約1/10,000 bar之內,並擁有0.1Pa的解析度。此項全新開發產品,預計於2009會計年度完成商品化。Epson Toyocom將於9月30日於日本幕張舉辦的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公開此一技術,並隨後在10月7日開幕的台北國際電子展(TAITRONICS 2008)於台灣愛普生攤位(K006)展出。  

Epson Toyocom新型石英式壓力感測器能在極小封裝產品中,同時提供高準確度和高解析度,這都歸功於英叉式(Tuning-fork)石英晶體單元作為壓力感測元件所提供的極穩定振盪頻率,以及QMEMS技術最新開發的原創壓力感測結構。新型壓力感測器的效能與特色將為裝置設計人員帶來相當大的幫助,可縮減裝置外型尺寸,並大幅提升各種氣象及安全性應用裝置的效能。新產品同時擁有應用於新領域的潛力。  

Epson Toyocom現正利用此產品所使用的原創壓力感測結構,開發其他各種應用裝置的石英式壓力感測器。其將透過提升以QMEMS為基礎的微型製造(Microfabrication)技術、高穩定石英晶體振盪電路技術,以及高準確感測技術,致力於增強其感應性能、並縮減外型尺寸。  

Epson Toyocom網址:www.epsontoyocom.co.jp

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