達思推出不使用氣體燃料的廢氣處理設備

達思廢氣處理事業部總監Guy Davies表示，新系統使公司的產品線陣容更臻於完整。公司注意到市場對此類系統需求相當殷切，因為許多半導體晶圓廠希望完全不使用氣體燃料；而對於業者而言，如果能夠避免安裝氣體燃料饋送系統，比較容易翻新裝有廢氣處理設備的既有晶圓廠。

SPRUCE是專為半導體產業的化學氣相沉積(CVD)製程所量身設計的廢氣處理設備。這些製程所使用的製程氣體通常具有毒性、高可燃性、爆炸性或者對環境有害。SPRUCE透過具成本效益的方案，能可靠地清除工廠內各種廢氣的殘留氣態物質。

SPRUCE的運作原理，是使製程廢氣透過最多四個分開的入口傳至反應室，再以電力從外部加熱；反應室內的熱能會分解廢氣的分子，之後依據其化學成分提出不同的反應。在後續的吸收階段，過程中會產生氣態與固態的成分，此時再以適合的吸收液體來冷卻與吸收這些成分，完成後，廢氣會透過冷卻與清潔的步驟由屋頂排出，而不產生任何有害影響。

達思網址：www.das-europe.com