吉時利儀器(keithley)推出針對S530參數測試系統的數個更新。更新項目包括增加最新的高處理量切換主機(Switch Mainframe)、協助完整切換訊號,實現更佳的低阻抗量測準確性的探針卡全系列凱文四線式量測法,可保護靈敏系統儀器免受高壓損壞的新硬體防護模組,以及完整的探針系統規格和診斷工具組合。
吉時利儀器(keithley)推出針對S530參數測試系統的數個更新。更新項目包括增加最新的高處理量切換主機(Switch Mainframe)、協助完整切換訊號,實現更佳的低阻抗量測準確性的探針卡全系列凱文四線式量測法,可保護靈敏系統儀器免受高壓損壞的新硬體防護模組,以及完整的探針系統規格和診斷工具組合。
目前吉時利儀器備有兩款不同的S530系統可供選擇:低電流量測版本是針對次臨界漏電流(Sub-threshold Leakage)、閘極漏電流(Gate Leakage)等特性量測;高電壓版本是提供氮化鎵、碳化矽和矽平面二次擴散金氧半場效電晶體(LDMOS)功率元件所要求的崩潰及洩漏測試(Breakdown and Leakage Test)。S530低電流系統具有二至八個電源量測單位(SMU)通道,提供Sub-picoamp量測解析度和到探針端所有路徑的低電流防漏機制。S530高壓系統具有三至七個SMU通道,在20安培(mA)下可輸出高達1,000伏特(V),最大功率可至20瓦(W)。
每台S530測試系統採用高性能的矩陣開關和高傳真訊號通道,在儀器和測試接腳間傳遞訊號。S530有八個高傳真通道,能夠動態地進行儀器與測試接腳之間的轉接,且S530所使用的SMU可確保高度的量測準確性和可重複性,同時協助延長硬體壽命。SMU為四象限電源,可以輸出或汲入電流或電壓。除了精確地量測電流源電路,更協助規範可量測範圍(Compliance)的能力,有助於在待測元件崩潰時,保護元件和探針免受損害。
所有的S530系統可以配備高速電容電錶對任何接腳,進行高達2MHz的C-V量測。此C-V量測單元在1MHz下量測10皮法(pF)電容,可達到3%的準確性。S530參數測試系統業經品質認證,ACS的「命令列」控制介面簡化使用者操作介面、簡化與工廠自動主機控制器的整合。
吉時利儀器網址:www.keithley.com