達思(DAS)近日推出最新燃燒/水洗廢氣處理系統STYRAX。該系統能處理化學氣相沉積(CVD)等製程中所含的危險物質。
達思(DAS)近日推出最新燃燒/水洗廢氣處理系統STYRAX。該系統能處理化學氣相沉積(CVD)等製程中所含的危險物質。
達思台灣總經理沈森永表示，STYRAX可更有效率的滿足台灣客戶需求，同時還能因應CVD與蝕刻製程的廢氣處理作業，使功能更臻完備。此外達思仍持續開發減排CVD廢氣的系統，目前鎖定的應用範疇更進一步擴展至記憶體製造領域。由於STYRAX機台占用空間極小，因此能安裝在晶圓廠的地下室或緊靠至設備旁邊。另外，針對要求高正常運作時間的客戶，STYRAX可大幅拉長實施預防性維護的保養週期。
STYRAX可運作時間極長，減排效率極優，維護保養作業也非常簡單，也正因系統保養的間隔週期極長，才能使客戶降低各方面營運成本。另外該產品還可輕易連結至監視網路，滿足客戶要求系統100%時間皆正常運用的需求。
達思網址：www.das-taiwan.tw