Edwards推出其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵(TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板製造商節省更多成本。
Edwards推出其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵(TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板製造商節省更多成本。
Edwards TMP產品行銷經理Shinichi Yoshino表示，新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它採用了Edwards最新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許的通過的氣量最大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至最小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易於在各種應用中快速安裝。此外，就像Edwards所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”
這款渦輪泵的高抽速度和高流量結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506適用於許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高整合度的設計包括一個完全密封的電子模組，以在最嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。
Edwards網址：www.edwardsvacuum.com