自從台積電帶動整體晶圓代工的風潮之後，台灣半導體設備需求逐年增加，已成為全球半導體設備商裡眼中的主要市場...
自從台積電帶動整體晶圓代工的風潮之後，台灣半導體設備需求逐年增加，已成為全球半導體設備商裡眼中的主要市場。
而以半導體設備系統部件為主要標的的Swagelok Semiconductor Services Company(SSSC)於日前推出採用全新原子層沉積(ALD)技術的氣動閥，其對於需要薄、均勻與複雜化學組合或高保形塗層的應用領域非常有吸引力。
SSSC以生產隔膜閥、波紋管閥、塑膠閥等半導體流體應用產品為主，此次推出採用ALD技術的氣動閥是供半導體設備所用，其產品優勢在於使用次數超過 2,500萬次，平均更可超過4,000萬次的使用周期，遠超過目前業界採用傳統技術僅有200萬次達20倍之多。此外，SSSC的ALD氣動閥每次的閥致動速度，開關時間小於5毫秒，而響應時間亦小於15毫秒，皆是目前業界最快的紀錄。再者，採用ALD技術的SSSC系列閥產品，其耐受溫度可高達攝氏 200度的高溫，更足以應付半導體設備運作時所產生的高溫。
SSSC總裁Philip I. Roberts表示，由於閥門使用壽命長短直接影響半導體設備的實際成本，而SSSC所推出的ALD氣動閥產品具備長效周期的使用特性，讓半導體設備的使用年限予以增加，無形之中也減緩廠商額外添購新設備的花費，同時也有利於半導體生產過程中所要求的穩定特性。
以目前半導體設備市場觀之，雖然使用者以台灣為市場主力，但是上游供應的設備來源卻仍是以美國與日本廠商為主。不過，由於台灣是實地操作與需求者，對於設備技術的演進與需求必須要能有一定的掌握，如此方能在開發製程中共同合作，而這也是此次SSSC來台發表全新原子層沉工藝用閥的最主要原因。而據 Philip I. Roberts透露，目前已有台灣半導體業者使用SSSC的ALD閥門產品。此外，Philip I. Roberts也不諱言地指出，SSSC此次來台宣傳ALD氣動閥的主要用意，亦是希望能藉由設備使用者的需求力量反向去要求設備廠商使用SSSC的產品。
最後，Philip I. Roberts表示，SSSC非常看重亞洲市場在半導體設備的需求潛力，特別是中國大陸與台灣這兩地，所以SSSC除了將著重亞洲地區新興產品的推廣之外，也將加強地區性市場的經銷，例如已在日本東京設立經銷總部、在大阪設立技術中心，同時也已制定計畫開始透過代理商的力量，來支持SSSC在大中華區域的市場發展。