MEMS 意法 ST A*STAR ULVAC Lab-in-Fab

意法/A*STAR/ULVAC攜手成立首間Lab-in-Fab實驗室

2020-12-15
意法半導體(ST)於宣布與新加坡A*STAR IME研究所,以及日本製造工具供應商ULVAC合作,在意法半導體新加坡晶圓廠內聯合打造一條以壓電式MEMS技術為重點研究方向的8吋(200mm)晶圓研發生產線。這個首創的「Lab-in-Fab」研發生產線將整合三間合作公司在壓電材料、壓電式MEMS技術和晶圓製造工具領域的技術,以及優勢互補的研發能力,促進新材料和製程技術創新發展,加速企業客戶的產品研發。

Lab-in-Fab實驗室包括意法半導體在宏茂橋工業園區內一個新建的無塵室,將配備合作三方所提供的工具設備和專用資源,為MEMS研發製程科學家和工程師提供工作場所。IME微電子在壓電式MEMS元件設計、製程整合和系統整合方面的知識和產業驅動力,將為研發生產線的發展提供積極的加值作用。IME還將提供最先進的工具設備,確保科技創新成果順利轉化為產品,全部過程都在同一地點完成。新的研發生產線還將利用意法半導體現有資源,發揮在同一園區內之ST晶圓廠的規模經濟優勢。預計「Lab-in-Fab」設施將在2021年第二季落成啟用並出產首批晶圓,預計在2022年底量產。

意法半導體類比元件、MEMS和感測器(AMS)產品部總裁Benedetto Vigna表示,該公司與IME和ULVAC在此前已有較長的合作經驗,這次新合作旨在共同創辦壓電式MEMS材料、技術和產品研發中心。這個實驗室將設立於意法半導體之策略要地-新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓客戶能夠輕鬆完成從概念可行性研究到產品量產的轉化過程。

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